ガスバリア性評価装置および評価方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：飯田敏三 , 赤羽修一 , 宮前尚祐
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-270501
公開番号（公開出願番号）：特開2014-167465
特許番号：特許第6304745号
出願日： 2013年12月26日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料を支える支持体と透過側チャンバーと検出部を備え、該支持体が透過側チャンバーの開口部と、試料交換の際でも該支持体と該透過側チャンバーが一体化して外れないように該開口部を閉塞して結合しており、かつ該支持体の水蒸気透過度が1×10-10mol/m2sPaから1×10-14mol/m2sPaであるガスバリア性評価装置。

IPC (1件)：