特許
J-GLOBAL ID：201803003204994476
集積化された光反射率計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
田中 光雄
, 山崎 宏
, 前堀 義之
, 仲倉 幸典
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-500633
特許番号：特許第6305975号
出願日： 2013年03月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 目標周波数でレーザ光を出力するように構成されたレーザ光源と、
上記レーザ光源の或る瞬間における実際の周波数と、上記レーザ光源の目標周波数との間の測定された差を導出する測定ユニットとを備え、
上記測定ユニットは、さらに、
上記レーザ光源によって出力されたレーザ光を分割する第1および第2のレーザ経路を備え、上記第1および第2のレーザ経路は異なる長さを有し、
干渉パターンを観測する検出器を備え、
上記第1のレーザ経路に沿って進むレーザ光が上記第2のレーザ経路に沿って進むレーザ光と再結合されるとき、上記干渉パターンは生成され、
上記測定ユニットは、上記観測された干渉パターンが表すレーザ位相の変化に基づいて、上記実際の周波数と上記目標周波数との間の上記測定された差を導出し、
上記実際の周波数と上記目標周波数との間の上記測定された差に基づいて、上記レーザ光源からのレーザ出力の一定の周波数を維持するように上記レーザ光源を制御すべく構成されたフィードバック制御ユニットを備え、それにより、上記レーザ光源から送信されるレーザ光の周波数が上記レーザ光源の上記目標周波数に調整される装置。
IPC (3件)：
H01S 5/0687 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G02B 6/12 ( 200 6.01)
H01S 5/068
, G01B 9/02
, G02B 6/12 301
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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