特許
J-GLOBAL ID:201803005302600357

半導体製造工程用粘着テープ基材用樹脂フィルム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 岩瀬 吉和 ,  小野 誠 ,  金山 賢教 ,  坪倉 道明 ,  重森 一輝 ,  安藤 健司 ,  城山 康文
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-106898
公開番号(公開出願番号):特開2014-229682
特許番号:特許第6281191号
出願日: 2013年05月21日
公開日(公表日): 2014年12月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 クロス分別法により測定した0°Cにおける樹脂溶出量が全溶出量に対して10重量%未満、かつ60°Cにおける積算樹脂溶出量が50重量%以下であるオレフィン系熱可塑性エラストマーを含有し、前記オレフィン系熱可塑性エラストマーは、ハードセグメント部がメタロセン触媒を用いて重合させたエチレン/プロピレン共重合体ブロックであって、多段重合で得られるオレフィン系エラストマーであることを特徴とするダイシング用粘着テープ基材用樹脂フィルム。
IPC (2件):
H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/78 M ,  H01L 21/304 622 J
引用特許:
審査官引用 (6件)
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