特許
J-GLOBAL ID:201803005302600357
半導体製造工程用粘着テープ基材用樹脂フィルム
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
岩瀬 吉和
, 小野 誠
, 金山 賢教
, 坪倉 道明
, 重森 一輝
, 安藤 健司
, 城山 康文
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-106898
公開番号(公開出願番号):特開2014-229682
特許番号:特許第6281191号
出願日: 2013年05月21日
公開日(公表日): 2014年12月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 クロス分別法により測定した0°Cにおける樹脂溶出量が全溶出量に対して10重量%未満、かつ60°Cにおける積算樹脂溶出量が50重量%以下であるオレフィン系熱可塑性エラストマーを含有し、前記オレフィン系熱可塑性エラストマーは、ハードセグメント部がメタロセン触媒を用いて重合させたエチレン/プロピレン共重合体ブロックであって、多段重合で得られるオレフィン系エラストマーであることを特徴とするダイシング用粘着テープ基材用樹脂フィルム。
IPC (2件):
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/78 M
, H01L 21/304 622 J
引用特許:
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