特許

J-GLOBAL ID：201803005534135952

強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置

発明者： 堤 潤也 ,  松岡 悟志 ,  堀内 佐智雄 ,  上村 洋平 ,  荒井 俊人 ,  長谷川 達生
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-167750
公開番号（公開出願番号）：特開2018-036088
出願日： 2016年08月30日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
要約：

【課題】 簡易な観察方法でありながら、高速且つ高い分解能をもって観察できる強誘電体の分極ドメインの可視化観察方法及びその装置の提供。【解決手段】 強誘電体薄膜に前記分極ドメインを反転させない大きさの正負の電場を周期Tで交互に形成させるとともに、これと同期させて強誘電体薄膜に照射した単色光の透過光又は反射光を二次元光検出器によって撮像する。正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージを得るが、差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えるとともに、周期Tを短時間側にシフトさせて差イメージのノイズ除去を図る。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

強誘電体の分極ドメインを可視化観察する方法であって、 強誘電体薄膜に前記分極ドメインを反転させない大きさの正負の電場を周期Tで交互に形成させるとともに、これと同期させて前記強誘電体薄膜に照射した単色光の透過光又は反射光を二次元光検出器によって撮像し、正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージを得る可視化観察方法において、前記差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えるとともに、前記周期Tを短時間側にシフトさせて前記差イメージのノイズ除去を図ることを特徴とする強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法。

IPC (4件)：

G01N 21/17 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 27/10

FI (3件)：

G01N21/17 A ,  H01L27/10 444C ,  H01L27/10 449

Fターム (26件)：

2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059FF05 ,  2G059GG00 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04 ,  5F083FR00 ,  5F083FZ07 ,  5F083GA21 ,  5F083JA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 強誘電体のドメイン観察方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-247883   出願人：科学技術振興事業団
• 試料表面のパラメータ差映像用方法と装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-504446   出願人：エムエムアールテクノロジーズインコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 強誘電体の分域構造