特許

J-GLOBAL ID：201803006007614202

磁気センサ

発明者： 古市 喬干 ,  青 建一 ,  安藤 康夫 ,  大兼 幹彦 ,  中野 貴文
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-132536
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006598
出願日： 2016年07月04日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】漏れ磁界に起因する検出精度低下を良好に抑制すること。【解決手段】磁気センサ1は、主面21を有する基板2と、主面21と平行な面内方向の磁化容易軸方向を有する自由層3と、基板2と自由層3との間に設けられた中間層4と、基板2と中間層4との間に設けられた固定層5とを備える。固定層5は、主面21と非平行な第一方向Z1に磁化方向が固定された第一強磁性体層51と、主面21の法線と平行な方向の成分が第一方向Z1とは反対となる第二方向Z2に磁化方向が固定された第二強磁性体層52と、第一強磁性体層51と第二強磁性体層52との間に設けられた非磁性体層53とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

磁気センサ(1)であって、 主面(21)を有する基板(2)と、 前記主面と平行な面内方向の磁化容易軸方向を有する自由層(3)と、 前記主面と非平行な第一方向(Z1)に磁化方向が固定された第一強磁性体層(51)と、前記主面の法線と平行な方向の成分が前記第一方向とは反対となる第二方向(Z2)に磁化方向が固定された第二強磁性体層(52)と、前記第一強磁性体層と前記第二強磁性体層との間に設けられた非磁性体層(53)と、を有する固定層(5)と、 前記自由層と前記固定層との間に設けられた中間層(4)と、 を備えた磁気センサ。

IPC (2件)：

H01L 43/08 ,  G01R 33/09

FI (2件)：

H01L43/08 Z ,  G01R33/06 R

Fターム (18件)：

2G017AA01 ,  2G017AD55 ,  2G017BA09 ,  5F092AA20 ,  5F092AB01 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AD04 ,  5F092AD23 ,  5F092BB22 ,  5F092BB23 ,  5F092BB31 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB43 ,  5F092BC07 ,  5F092BC12 ,  5F092BE06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 磁気抵抗素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-085698   出願人：三星電子株式会社
• 磁気抵抗スピン・バルブ・センサおよびこのセンサを使用した磁気記録システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-206311   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• センサ用磁気抵抗素子、およびセンサ回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-029151   出願人：株式会社デンソー
• 磁気抵抗素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-162820   出願人：株式会社デンソー, 国立大学法人東北大学