特許

J-GLOBAL ID：201803006603989736

ガス濃度検出ユニット及びガス濃度測定方法

発明者： 三木 雄輔 ,  広瀬 泰夫 ,  遠藤 仁晃 ,  戸田 敬 ,  大平 慎一
出願人/特許権者： 大陽日酸株式会社 ,  国立大学法人 熊本大学
代理人 (2件)： 木戸 良彦 ,  木戸 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-149304
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017650
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
要約：

【課題】劣化や干渉による影響を排除して正確なガス濃度を連続的に、かつ、長期間にわたって測定ことができるガス濃度検出ユニット及びガス濃度測定方法を提供する。【解決手段】特定波長の測定光A1を照射する光源13と、光透過性を有するフィルタ34の光源側の面を覆う不純物成分検知体35と、該不純物成分検知体を透過した測定光の強度を検出する測定用受光部36と、不純物成分検知体に測定対象ガスを供給する測定対象ガス供給経路と、光源から不純物成分検知体に向かう測定光の一部を参照光A2として分割するビームスプリッタ14と、該ビームスプリッタで分割された参照光の強度を検出する参照用受光部16とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象ガスに含まれる不純物成分の濃度を連続的に検出するためのガス濃度検出ユニットにおいて、特定波長の測定光を照射する光源と、光透過性を有するフィルタの光源側の面を覆う不純物成分検知体と、該不純物成分検知体を透過した前記測定光の強度を検出する測定用受光部と、前記不純物成分検知体に前記測定対象ガスを供給する測定対象ガス供給経路と、前記光源から前記不純物成分検知体に向かう測定光の一部を参照光として分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタで分割された前記参照光の強度を検出する参照用受光部とを備えていることを特徴とするガス濃度検出ユニット。

IPC (1件)：

G01N 21/59

FI (1件)：

G01N21/59 Z

Fターム (9件)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059NN05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガス検知素子及びガス測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-267036   出願人：三菱重工業株式会社
• ガス吸光度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-181842   出願人：株式会社島津製作所
• 半導体レーザーを用いた水分分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-260859   出願人：日本酸素株式会社, 竹内延夫