スクライブ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-213394
公開番号（公開出願番号）：特開2017-022422
特許番号：特許第6244431号
出願日： 2016年10月31日
公開日（公表日）： 2017年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】オフ角が形成されたSiC基板をスクライブするためのスクライブ装置であって、刃先の稜線に対する左右の刃先角度を異ならせたスクライビングホイールを取付けられたスクライブヘッドを備えたスクライブ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01) , B28D 5/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/78 G , B28D 5/02 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

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