プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：三浦邦夫 , 三浦邦陽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-056382
公開番号（公開出願番号）：特開2018-160352
出願日： 2017年03月22日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：

【課題】放電容器内の電極の劣化及び沿面放電を防止しながら、確実にプラズマを発生させることができるプラズマ発生装置を得ること。【解決手段】放電容器(10、20)を介在させて対向配設された一対の電極(13aと15、13a’と15、23と23、または23’と23’’)を有するプラズマ発生装置において、一対の電極は、放電容器内の放電用ガスに露出しないように、放電容器の一部を構成する誘電体(13b、13b’、20a)によって覆われているプラズマ発生装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電容器を介在させて対向配設された一対の電極を有するプラズマ発生装置において、上記一対の電極は、上記放電容器内の放電用ガスに露出しないように、上記放電容器の一部を構成する誘電体によって覆われていること、を特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (1件)：

H05H 1/26

FI (1件)：

H05H1/26

Fターム (16件)：

2G084BB06 , 2G084BB07 , 2G084BB23 , 2G084BB24 , 2G084CC11 , 2G084CC34 , 2G084DD01 , 2G084DD12 , 2G084DD14 , 2G084DD17 , 2G084DD22 , 2G084DD66 , 2G084FF02 , 2G084GG02 , 2G084GG07 , 2G084GG11

引用特許：

審査官引用 (8件)

特許第6006393号
構造体及び電極構造
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-197112 出願人：日本碍子株式会社
放電ランプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-179652 出願人：株式会社オーク製作所

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