特許
J-GLOBAL ID：201403042859458920
大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理装置の製造方法および大気圧プラズマ処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-137785
公開番号（公開出願番号）：特開2014-002937
出願日： 2012年06月19日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】高電圧印加時の異常放電を抑制することができるとともに、表面処理効果を高くすることができる大気圧プラズマ処理装置、大気圧プラズマ処理装置の製造方法および大気圧プラズマ処理方法を提供する。【解決手段】電極は絶縁体の外表面上に溶射により形成されている大気圧プラズマ処理装置および大気圧プラズマ処理装置の製造方法、ならびにその装置を用いた大気圧プラズマ処理方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
絶縁体と、
前記絶縁体の外表面上において、互いに対向するように配置されている一対の電極とを備え、
前記一対の電極は、前記絶縁体の前記外表面上に溶射により形成されている、大気圧プラズマ処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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