特許
J-GLOBAL ID：201803008529147364

光学フィルタリングを用いる微細フォトルミネッセンス撮像

発明者：
キス、ゾルタン タマーシュ

キス、ゾルタン タマーシュ について

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ドゥダーシュ、ラースロー

ドゥダーシュ、ラースロー について

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コヴァーチ、ジョルト

コヴァーチ、ジョルト について

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ライトス、イムレ

ライトス、イムレ について

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ナードゥドヴァリ、ジェルジ

ナードゥドヴァリ、ジェルジ について

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ローラン、ニコラ

ローラン、ニコラ について

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ヤストシェブスキー、ルボミール エル.

ヤストシェブスキー、ルボミール エル. について


出願人/特許権者：
セミラボ セミコンダクター フィジックス ラボラトリー カンパニー リミテッド

セミラボ セミコンダクター フィジックス ラボラトリー カンパニー リミテッド について


代理人 (3件)： 恩田 誠 ,  恩田 博宣 ,  本田 淳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-510309
公開番号（公開出願番号）：特表2018-519676
出願日： 2016年04月28日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：
ウエハを、ウエハ内でフォトルミネッセンスを誘発するのに十分な波長及び強度を有する励起光によって照明するステップと、照明に応答してウエハの一部分から放出されたフォトルミネッセンスをフィルタリングするステップと、フィルタリング済みのフォトルミネッセンスを検出器上に導いて、検出器上において1μm×1μm以下の空間分解能でウエハの一部分を撮像するステップと、検出されたフィルタリング済みのフォトルミネッセンスに基づいてウエハ内の1つ又は複数の結晶欠陥を識別するステップとを含む方法。
請求項（抜粋）：
方法であって、 ウエハを、前記ウエハ内でフォトルミネッセンスを誘発するのに十分な波長及び強度を有する励起光によって照明するステップと、 前記照明に応答して前記ウエハの一部分から放出されたフォトルミネッセンスをフィルタリングするステップと、 フィルタリング済みのフォトルミネッセンスを検出器上に導いて、前記検出器上において1μm×1μm以下の空間分解能で前記ウエハの前記一部分を撮像するステップと、 検出されたフィルタリング済みのフォトルミネッセンスに基づいて前記ウエハ内の1つ又は複数の結晶欠陥を識別するステップと を含む方法。
IPC (1件)：
H01L 21/66
FI (1件)：
H01L21/66 N
Fターム (12件)：
4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106BA08 ,  4M106CA18 ,  4M106CB19 ,  4M106DH12 ,  4M106DH32 ,  4M106DH39 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ27
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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