特許
J-GLOBAL ID：201803009323042678

試料を検査するための方法および機器

発明者：
ベルント ウィツゴウスキー

ベルント ウィツゴウスキー について


出願人/特許権者：
ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー

ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー について


代理人 (2件)： 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-252081
公開番号（公開出願番号）：特開2013-117529
特許番号：特許第6286120号
出願日： 2012年11月16日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料を検査するための方法であって、 a.励起パルス周波数で連続して発生するパルスにて励起光を生成するステップと、 b.前記励起光で試料領域を照明するステップと、 c.検出光の各検出光子に対して、電気パルスおよびそれによる電気パルスシーケンスを生成する検出器を用いて、前記試料領域から発する検出光を検出するステップと、 d.アナログ-デジタル変換器を用いて、サンプリング速度で前記電気パルスシーケンスをサンプリングすることによって、デジタルデータシーケンスを生成するステップと、を有する方法において、 前記励起光が、プライマリ光から分割され、前記励起光と異なる前記プライマリ光の部分が、前記プライマリ光の前記異なる部分の各検出パルス用のさらなる電気パルスおよびそれによるさらなる電気パルスのシーケンスを生成する励起検出器によって検出され、 e.前記電気パルスおよび前記さらなる電気パルスが反対符号で重ね合わされ、重ね合わせ信号が、前記アナログ-デジタル変換器によってサンプリングされて前記デジタルデータシーケンスを生成し、および/または f.前記電気パルスおよび前記さらなる電気パルスが反対符号でパワー結合器によって重ね合わされ、重ね合わせ信号が、前記アナログ-デジタル変換器によってサンプリングされて前記デジタルデータシーケンスを生成することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
G01N 21/64 ( 200 6.01) ,  G02B 21/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 21/64 B ,  G02B 21/00
引用特許：
出願人引用 (15件)
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審査官引用 (21件)
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