特許
J-GLOBAL ID:201803009420433339
中性子半導体検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
長谷川 芳樹
, 諏澤 勇司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-037321
公開番号(公開出願番号):特開2018-141749
出願日: 2017年02月28日
公開日(公表日): 2018年09月13日
要約:
【課題】中性子の入射位置を特定可能としつつ、中性子の検出効率を向上させることができる中性子半導体検出器を提供する。【解決手段】中性子半導体検出器1は、サファイア基板11及び当該サファイア基板11上に形成されたGaNバッファー層12と、GaNバッファー層12上に形成されたP型半導体の窒化ガリウム(GaN)を含むP層13と、P層13上に形成され、GaNとホウ素(B)とを混晶させた真性半導体のBGaNを含むI層14と、I層14上に形成されたN型半導体のGaNを含むN層15と、P層13に電気的に接続された第1電極21と、N層15に電気的に接続され、N層15上に配列された複数の第2電極22と、を備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上に形成されたP型半導体の窒化ガリウム(GaN)を含むP層と、
前記P層上に形成され、GaNとホウ素(B)とを混晶させた真性半導体のBGaNを含むI層と、
前記I層上に形成されたN型半導体のGaNを含むN層と、
前記P層に電気的に接続された第1電極と、
前記N層に電気的に接続され、前記N層上に配列された複数の第2電極と、を備える、中性子半導体検出器。
IPC (3件):
G01T 3/08
, G01T 1/24
, G01T 1/29
FI (3件):
G01T3/08
, G01T1/24
, G01T1/29 C
Fターム (7件):
2G188BB09
, 2G188BB14
, 2G188CC29
, 2G188CC32
, 2G188CC36
, 2G188DD05
, 2G188DD34
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (1件)
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DEVELOPMENT OF WIDE BANDGAP SOLID-STATE NEUTRON DETECTORS
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