アライメント用光学測定素子及び該光学測定素子を用いた光プローブのアライメント方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：池田憲保 , 佐々木敬 , 松田順一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-133873
公開番号（公開出願番号）：特開2018-005067
出願日： 2016年07月06日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】動作原理的に高効率であって、製造が容易であり、同時に反射損失の発生が少ない、アライメント用光学測定素子を提供する。【解決手段】光プローブをアライメント用光学測定素子のグレーティングカプラに接近させ(S10)、光プローブからの出射光をグレーティングカプラに出射光として入力し(S20)、グレーティングカプラから戻ってきた出射光を同じ光プローブで受光し(S30)、受光した光の光強度を光検出器で測定し(S40)、光強度の測定値が最大になるよう、ウエハに対する光プローブの相対位置を調節する(S50)。測定位置情報から、ウエハの光ファイバの移動軸に対する平行度や、ウエハの水平度を修正する(S60)。連続する2回の処理で測定されたそれぞれの相対位置が一定の許容誤差内に入ったか否かを判定し(S70)、是であればアライメントを終了し、否であればS20に戻る。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

ウエハ又は光チップに設けられるアライメント用光学測定素子であって、グレーティングカプラと、該グレーティングカプラに結合された反射器と、を含み、前記グレーティングカプラは、入射光を回折して第1の導波光として伝搬し、該第1の導波光が前記反射器で反射された反射光を、前記第1の導波光とは逆向きに第2の導波光として伝搬し、該第2の導波光を回折して前記入射光とは逆向きに出射光として放射する、ように配置されている、光学測定素子。

IPC (4件)：

G02B 6/34 , G02B 6/30 , G02B 6/124 , G01M 11/00

FI (4件)：

G02B6/34 , G02B6/30 , G02B6/124 , G01M11/00 G

Fターム (42件)：

2G086AA04 , 2H137AA14 , 2H137AB09 , 2H137AB11 , 2H137BA15 , 2H137BA34 , 2H137BA45 , 2H137BA52 , 2H137BA53 , 2H137BC25 , 2H137BC29 , 2H137BC51 , 2H137CA34 , 2H137CB06 , 2H137CB24 , 2H137CB32 , 2H137CB33 , 2H137CC03 , 2H137HA11 , 2H147AA02 , 2H147AB04 , 2H147AB05 , 2H147AB16 , 2H147BC03 , 2H147BC05 , 2H147BD03 , 2H147BD07 , 2H147BE15 , 2H147BG04 , 2H147BG11 , 2H147CA05 , 2H147CA13 , 2H147CB01 , 2H147CC01 , 2H147CC13 , 2H147CD01 , 2H147CD02 , 2H147EA13A , 2H147EA14B , 2H147FD19 , 2H147GA10 , 2H147GA19

引用特許：

審査官引用 (6件)

光ファイバの固定構造、光ファイバの固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-150572 出願人：古河電気工業株式会社
波長選択スイッチ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-160428 出願人：住友電気工業株式会社
熱アシスト集積ヘッド及び熱アシスト記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-169422 出願人：株式会社日立製作所

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