特許
J-GLOBAL ID：201803009754338230

基板位置合わせ装置及び基板位置合わせ装置の制御方法

発明者：
福島 崇行

福島 崇行 について


出願人/特許権者：
川崎重工業株式会社

川崎重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 有古特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-258768
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115562
特許番号：特許第6263017号
出願日： 2013年12月16日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】複数の基板を夫々水平に且つ上下方向に互いに離間して並ぶように保持するよう上下方向に互いに離間して配置され、且つ上下方向に延びた1つの軸線の周りを回転可能に設けられた複数の回転台と、 前記複数の回転台を同期して回転させる回転駆動装置と、 前記複数の回転台に夫々保持されて回転される複数の基板の目印の回転角度位置を検出する複数の目印位置検出部と、 前記複数の回転台にそれぞれ保持されるべき複数の基板の周縁部を支持するよう構成された複数の支持爪セットと、 前記複数の支持爪セットを、個別に支持し且つ前記基板の外周より内側に位置する内方位置と前記基板の外周より外側に位置する外方位置との間にて個別に移動させるよう構成された複数の支持爪セット駆動構造体と、 前記複数の支持爪セット駆動構造体を所定の高さ範囲における高位置と低位置との間にて一括して昇降させる昇降機構と、を備え、 前記高位置及び低位置は、夫々、前記複数の支持爪セットが夫々に対応する回転台に保持される基板より高い位置及び低い位置であり、且つ 前記複数の目印位置検出部で夫々検出される前記複数の基板の目印位置に基づいて前記回転駆動装置、前記支持爪セット駆動構造体、及び前記昇降機構を動作させることによって、前記複数の基板の目印を基準回転角度位置に位置させるように構成されている、基板位置合わせ装置。
IPC (1件)：
H01L 21/68 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/68 M
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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