特許
J-GLOBAL ID：201803010406383688

基板搬送装置および基板搬送方法

発明者：
森川 勝洋

森川 勝洋 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-117383
公開番号（公開出願番号）：特開2017-224657
出願日： 2016年06月13日
公開日（公表日）： 2017年12月21日
要約：
【課題】基板の周縁部からの発塵を抑制するとともに、処理後の基板に対し処理前の基板の悪影響を及ぼしてしまうのを防ぐこと。【解決手段】実施形態に係る基板搬送装置は、第1支持部および第2支持部と、昇降機構とを備える。第1支持部および第2支持部は、基板の下方から基板を支持する。昇降機構は、固定式である第1支持部の高さよりも高い第1位置と第1支持部の高さよりも低い第2位置との間で第2支持部を昇降させる。【選択図】図3D
請求項（抜粋）：
基板の下方から該基板を支持する第1支持部および第2支持部と、 固定式である前記第1支持部の高さよりも高い第1位置と前記第1支持部の高さよりも低い第2位置との間で前記第2支持部を昇降させる昇降機構と を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  B25J 15/00
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 E ,  B25J15/00 D
Fターム (37件)：
3C707AS03 ,  3C707DS06 ,  3C707ES17 ,  3C707KS05 ,  3C707KV11 ,  3C707KX19 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BB03 ,  5F131CA15 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DB03 ,  5F131DB06 ,  5F131DB37 ,  5F131DB43 ,  5F131DB54 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD43 ,  5F131DD94 ,  5F131KA02 ,  5F131KA13 ,  5F131KA14 ,  5F131KA15 ,  5F131KA43 ,  5F131KA47 ,  5F131KA52 ,  5F131KB05 ,  5F131KB33 ,  5F131KB52 ,  5F131KB55 ,  5F131KB58
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 基板搬送装置及び基板搬送方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-152241   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 基板搬送機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-278651   出願人：国際電気株式会社
  • 基板搬送装置及び方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-091539   出願人：東京エレクトロン株式会社
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