特許
J-GLOBAL ID:201803010983233164
静圧気体軸受装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大関 光弘
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-192376
公開番号(公開出願番号):特開2015-059587
特許番号:特許第6288999号
出願日: 2013年09月17日
公開日(公表日): 2015年03月30日
請求項(抜粋):
【請求項1】 両端面をスラスト方向に貫通するエアシャフト用挿入穴が形成された回転体を非接触状態で支持する静圧気体軸受装置であって、
前記エアシャフト用挿入穴の内径よりも小さい外径を有し、当該エアシャフト用挿入穴に挿入されるエアシャフトと、
前記エアシャフト用挿入穴に前記エアシャフトが挿入された前記回転体を、前記スラスト方向において前記両端面側から非接触で挟み込む一対のスラストプレートと、を有し、
前記エアシャフトは、
ラジアル軸受隙間を介して前記回転体の前記エアシャフト用挿入穴の内周面と対面し、当該ラジアル軸受隙間に気体を噴出する外周面を有し、
前記一対のスラストプレートの各々は、
スラスト軸受隙間を介して前記回転体の前記端面と対面する一方の端面にスラスト軸受面を有し、
前記一対のスラストプレートの少なくとも一方は、
前記スラスト軸受面において前記ラジアル軸受隙間と前記スラスト方向に重なる環状領域に設けられた環状溝と、当該環状溝の溝底に設けられた吸気口と、当該吸気口に流入した気体を外部へ排出する排気口と、を備えた流路を有する
ことを特徴とする静圧気体軸受装置。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (4件)
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静圧軸受支持のガイドローラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-330472
出願人:エヌティエヌ株式会社
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スピンドル装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-235439
出願人:日本精工株式会社
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エアベアリングユニット
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-208855
出願人:オイレス工業株式会社
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静圧流体軸受
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-125748
出願人:光洋精工株式会社
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審査官引用 (4件)