特許
J-GLOBAL ID:201803011728731939

スルホニウム塩および光酸発生剤

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 博史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-114827
公開番号(公開出願番号):特開2014-234348
特許番号:特許第6240409号
出願日: 2013年05月31日
公開日(公表日): 2014年12月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】下記一般式(1)で示されるスルホニウム塩を含有することを特徴とする光酸発生剤。 〔式(1)中、R1はトリフルオロメチル基又はフッ素原子を表し;p、qは0であり;X-はCl-、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、メタンスルホン酸アニオン、ブタンスルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン、p-トルエンスルホン酸アニオン、(CF3SO2)3C-、(CF3SO2)2N-または(C4F9SO2)2N-を表す。〕
IPC (9件):
G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  C09K 3/00 ( 200 6.01) ,  C07C 381/12 ( 200 6.01) ,  C07C 309/06 ( 200 6.01) ,  C07C 309/19 ( 200 6.01) ,  C07C 309/29 ( 200 6.01) ,  C07C 309/30 ( 200 6.01) ,  C07C 317/04 ( 200 6.01) ,  C07C 311/48 ( 200 6.01)
FI (9件):
G03F 7/004 503 A ,  C09K 3/00 K ,  C07C 381/12 CSP ,  C07C 309/06 ,  C07C 309/19 ,  C07C 309/29 ,  C07C 309/30 ,  C07C 317/04 ,  C07C 311/48
引用特許:
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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