【請求項1】下記一般式(1)で示されるスルホニウム塩を含有することを特徴とする光酸発生剤。
〔式(1)中、R1はトリフルオロメチル基又はフッ素原子を表し;p、qは0であり;X-はCl-、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ノナフルオロブタンスルホン酸アニオン、メタンスルホン酸アニオン、ブタンスルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸アニオン、p-トルエンスルホン酸アニオン、(CF3SO2)3C-、(CF3SO2)2N-または(C4F9SO2)2N-を表す。〕
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C09K 3/00 ( 200 6.01)
, C07C 381/12 ( 200 6.01)
, C07C 309/06 ( 200 6.01)
, C07C 309/19 ( 200 6.01)
, C07C 309/29 ( 200 6.01)
, C07C 309/30 ( 200 6.01)
, C07C 317/04 ( 200 6.01)
, C07C 311/48 ( 200 6.01)