特許

J-GLOBAL ID：201803012283340183

アクチュエータ素子、圧電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、並びに画像形成装置

発明者： 石杜 昌弘 ,  真貝 勝 ,  西村 学
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-187682
公開番号（公開出願番号）：特開2015-056453
特許番号：特許第6232866号
出願日： 2013年09月10日
公開日（公表日）： 2015年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下部電極と、 前記下部電極上に設けられる圧電体薄膜と、 前記圧電体薄膜上に設けられた上部電極と備えたアクチュエータ素子であって、 前記上部電極は、白金膜を有し、 前記白金膜は、横方向の平均粒子径が膜厚よりも小さく、前記白金膜の横方向の平均粒子径は、50nm以上であることを特徴とするアクチュエータ素子。

IPC (5件)：

H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/29 ( 201 3.01) ,  B41J 2/045 ( 200 6.01) ,  B41J 2/14 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01L 41/047 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/29 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/14 301 ,  B41J 2/14 305 ,  B41J 2/14 611

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-203526   出願人：株式会社リコー
• 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、それらの製造方法およびプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-108166   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電素子及びインクジェットヘッド並びにそれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-344446   出願人：松下電器産業株式会社