特許
J-GLOBAL ID：201303094338222311
電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
本多 章悟
, 樺山 亨
, 工藤 修一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-203526
公開番号（公開出願番号）：特開2013-065697
出願日： 2011年09月16日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、構造が比較的簡易で経時的に安定した駆動力を得る電気-機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。【解決手段】電気-機械変換素子10が、(111)配向を有するPt族の元素製の電極14と、電極14上に形成された電極15と、電極15上に形成され(111)を優先配向とするPZTからなる電気-機械変換膜16と、膜16上に形成された個別電極17と、電極17上に形成された金属の個別電極18とを有し、電極15、17はルテニウム酸ストロンチウムからなり、電極15は、ペロブスカイト構造を有する(111)配向を有し、表面粗さが4nm以上15nm以下であり、厚さが40nm以上150nm以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上又は下地膜上に直接又は間接的に形成された第1の電極と、
この第1の電極上に形成された第2の電極と、
この第2の電極上に形成された電気-機械変換膜と、
この電気-機械変換膜上に形成された第3の電極と、
この第3の電極上に形成された第4の電極とを有し、
第3の電極と第4の電極とは個別電極であり、
第4の電極は金属からなり、
第1の電極は(111)配向を有するPt族の元素からなり、
第2の電極と第3の電極とはルテニウム酸ストロンチウムからなり、
第2の電極は、ペロブスカイト構造を有する(111)配向を有し、表面粗さが4nm以上15nm以下であり、厚さが40nm以上150nm以下であり、
前記電気-機械変換膜は(111)を優先配向とするPZTからなる電気-機械変換素子。
IPC (8件)：
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/39
, H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H01L41/08 L
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AG44
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP52
, 2C057BA04
, 2C057BA14
