特許
J-GLOBAL ID：200903098043963541
圧電素子及びインクジェットヘッド並びにそれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-344446
公開番号（公開出願番号）：特開2005-354026
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】低コストで、圧電特性が高く、且つ、耐湿性が高い圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子20は、第1電極膜2と、その第1電極膜2上に形成された第1圧電体薄膜3と該第1圧電体薄膜3上に形成された第2圧電体薄膜4とからなる圧電体積層膜10と、その第2圧電体薄膜4上に形成された第2電極膜5とを備えている。第1及び第2圧電体薄膜3,4は、結晶成長方向が圧電体積層膜10の厚み方向一方側から他方側に向いている柱状粒子の集合体である。第1圧電体薄膜3のPb含有量が第2圧電体薄膜4のPb含有量よりも少ない。第2圧電体薄膜4の柱状粒子の平均断面径が第1圧電体薄膜3の柱状粒子の平均断面径よりも大きい。第2圧電体薄膜4の柱状粒子の平均断面径に対する圧電体積層膜10の厚みの比が20以上60以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1電極膜と、該第1電極膜上に形成された第1圧電体膜と該第1圧電体膜上に形成され且つ上記第1圧電体膜により結晶配向性を制御される第2圧電体膜とからなる圧電体積層膜と、該第2圧電体膜上に形成された第2電極膜とを備えた圧電素子であって、
上記第1及び第2圧電体膜は、結晶成長方向が上記圧電体積層膜の厚み方向一方側から他方側に向いている柱状粒子の集合体であり、
上記第1圧電体膜のPb含有量が上記第2圧電体膜のPb含有量よりも少なく、
上記第2圧電体膜の柱状粒子の平均断面径が上記第1圧電体膜の柱状粒子の平均断面径よりも大きく、
上記第2圧電体膜の柱状粒子の平均断面径に対する上記圧電体積層膜の厚みの比が20以上60以下であることを特徴とする圧電素子。
IPC (8件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
, H02N2/00
H01L41/08 J
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG39
, 2C057AG40
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AG48
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP31
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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