赤外顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-075020
公開番号（公開出願番号）：特開2018-112762
出願日： 2018年04月09日
公開日（公表日）： 2018年07月19日
要約：

【課題】目視で確認できない試料上の異物を、簡単に且つ確実にその存在箇所を特定し、後の同定処理につなげることのできる赤外顕微鏡を提供すること。【解決手段】モニター測定ボタン210の押下によりモニター測定を開始し、ステージ移動ボタン214の押下によりモニター測定領域213を移動させると、モニター測定領域213での赤外吸収スペクトルから算出される特徴値(例えば、所定の波数における強度値)が軌跡Tとして画面上に表示される。それにより、異物iの存在箇所が特定しやすくなる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

試料の表面画像を取得する画像取得部と、前記試料に赤外光を照射する赤外光照射部と、前記赤外光照射部により前記赤外光が照射される前記試料上のモニター領域に対応する前記表面画像上の領域であるモニター測定領域を示す重畳画像を、前記表面画像中に重畳表示するモニター画像重畳表示部と、前記モニター測定領域を移動させることが可能な移動手段と、前記移動手段により前記モニター測定領域が移動されたことに伴い前記モニター領域が移動されるとともに前記赤外光が前記試料に照射されて、前記モニター測定領域での赤外吸収スペクトルを順次取得するスペクトル作成部と、前記画像取得部が取得した前記表面画像、及び、前記スペクトル作成部により順次取得された前記赤外吸収スペクトルを表示する表示部と、を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/06 , G01N 21/35

FI (2件)：

G02B21/06 , G01N21/35

Fターム (20件)：

2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059HH01 , 2G059JJ22 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2H052AA04 , 2H052AC09 , 2H052AC13 , 2H052AD07 , 2H052AD18 , 2H052AF02 , 2H052AF04 , 2H052AF14 , 2H052AF21 , 2H052AF25

引用特許：

出願人引用 (3件)

赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-177081 出願人：株式会社島津製作所
赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-126660 出願人：株式会社島津製作所
生物学的試片をスペクトル画像により分析する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2013-516834 出願人：セルマークセラノスティクス,リミテッドライアビリティーカンパニー, ノースイースタン・ユニバーシティ

審査官引用 (4件)

赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-055811 出願人：株式会社島津製作所
赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-177081 出願人：株式会社島津製作所
赤外顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-126660 出願人：株式会社島津製作所

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