低濃度の硫化水素ガスの分光学的検出のための方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 杉村光嗣 , 冨田和幸
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-507681
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530744
出願日： 2016年09月01日
公開日（公表日）： 2018年10月18日
要約：

有害な揮発性物質であるガスが含まれる、低濃度のガスを検出するために構成されるガスセンサが組み込まれた分光装置および方法を提供する。低濃度のガスは、百万分の1(ppm)、多くの実施態様では10億分の1(ppb)のオーダーの濃度の検出が必要なガスを含むことができる。ガスは、例えば、掘削および/または火山噴火において生成され得る硫化水素(H2S)などのようなものの種であり得る。分光装置および方法は、例えば、周囲の空気において、および/または様々な汚染物質が存在し得る空間においてなどのような、ガス検出が困難であり得る特定の雰囲気において動作するために構成される。分光装置および方法は、例えば、キャビティ増強吸収分光計などのような長い経路長検出器を組み込むことができる。本方法および装置は、信号対雑音比を改善するために波長変調技術をさらに組み込む。

請求項（抜粋）：

次の: 容量を規定するキャビティであり、キャビティは、前記容量中に気体状試料が導入され、および気体状試料が前記容量から引き出されるための少なくとも一つのガス入口および一つのガス出口、および前記キャビティ中に光が導入され、および前記キャビティから被分析物吸収シグナルが引き出されるための一つの光入口および一つの光出口を有するもの; 前記キャビティの対向端部に配置され、および間にある特徴的な物理的長さを有する光路を形成するために構成される特徴的な反射性を有する二つのミラー; 一つの光入口を伴う光学的アラインメントにおいて配置され、および光を前記キャビティ中に前記光路に沿って導入するために構成される光源であり、光源波長は、選定される気体状被分析物の少なくとも一つの吸収波長に対応するために選定される範囲にチューニングされるもの; 光源とインターフェースし、および光の波長をチューンおよびモジュレートするために構成されるドライバエレクトロニクスであり; そこで、ミラーおよび光源は、光キャビティ中に光路に沿って導入される光が二つのミラー間で反射されるように配置され、光出口を出るのに先立ち光の大部分がキャビティを通してマルチプルパスを行うようにされ、キャビティ内にある間に光が進む累積光路長はキャビティの物理的長さよりも著しく長いようにされるもの; 光出口を伴う光学的アラインメントにおいて配置され、および選定される吸収波長で気体状被分析物の吸収シグナルを検出するために構成される検出器であり;およびそこで、キャビティの吸収波長、ミラー反射性および物理的長さは、累積光路長を最大にするために選定されるものを含む、分光装置。

IPC (3件)：

G01N 21/350 , G01N 21/33 , G01N 21/27

FI (3件)：

G01N21/3504 , G01N21/33 , G01N21/27 F

Fターム (15件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059CC06 , 2G059CC09 , 2G059EE01 , 2G059EE09 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059JJ01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ14 , 2G059KK01

引用特許：

審査官引用 (6件)

ガス状酸化物計測装置、ガス状物質計測装置及びガス状酸化物計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-128062 出願人：三菱重工業株式会社
光式多ガス濃度検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-060974 出願人：日立電線株式会社
特許第8654334号

全件表示

引用文献：

審査官引用 (2件)

Planetary laser spectrometer for sensitive in situ detection of water at 1881nm
Planetary laser spectrometer for sensitive in situ detection of water at 1881nm

前のページに戻る