特許
J-GLOBAL ID:201803013939081593
半導体素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
奥田 誠司
, 喜多 修市
, 梶谷 美道
, 三宅 章子
, 岡部 英隆
, 川喜田 徹
, 田中 悠
, 村瀬 成康
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-245590
公開番号(公開出願番号):特開2018-101662
出願日: 2016年12月19日
公開日(公表日): 2018年06月28日
要約:
【課題】高い信頼性を有し得る半導体素子を提供する。【解決手段】 半導体素子1000は、所定の素子領域を有する半導体102と、素子領域の端部において、半導体102に配置された電界緩和構造と、半導体102の上に配置され、かつ、半導体の法線方向から見たとき、電界緩和構造の内側に位置する、少なくとも1つの表面電極112と、電界緩和構造と少なくとも1つの表面電極112の周縁部とを覆い、かつ、少なくとも1つの表面電極112上に開口部を有する保護層114と、少なくとも1つの表面電極112上において、開口部114pの内側に、保護層114と離間して配置された絶縁層115とを備え、半導体102の法線方向から見たとき、絶縁層115は、少なくとも1つの表面電極112の一部の領域112aを包囲するように配置されている。【選択図】図2A
請求項(抜粋):
所定の素子領域を有する半導体と、
前記素子領域の端部において、前記半導体に配置された電界緩和構造と、
前記半導体の上に配置され、かつ、前記半導体の法線方向から見たとき、前記電界緩和構造の内側に位置する、少なくとも1つの表面電極と、
前記電界緩和構造と前記少なくとも1つの表面電極の周縁部とを覆い、かつ、前記少なくとも1つの表面電極上に開口部を有する保護層と、
前記少なくとも1つの表面電極上において、前記開口部の内側に、前記保護層と離間して配置された絶縁層と
を備え、
前記半導体の法線方向から見たとき、前記絶縁層は、前記少なくとも1つの表面電極の一部の領域を包囲するように配置されている、半導体素子。
IPC (7件):
H01L 29/47
, H01L 29/872
, H01L 29/12
, H01L 29/78
, H01L 29/06
, H01L 29/417
, H01L 21/28
FI (12件):
H01L29/48 E
, H01L29/78 652T
, H01L29/86 301D
, H01L29/86 301E
, H01L29/06 301G
, H01L29/06 301V
, H01L29/86 301F
, H01L29/78 652P
, H01L29/78 652Q
, H01L29/50 B
, H01L29/50 M
, H01L21/28 Z
Fターム (16件):
4M104AA01
, 4M104AA03
, 4M104AA04
, 4M104BB02
, 4M104BB05
, 4M104BB14
, 4M104BB16
, 4M104DD78
, 4M104FF02
, 4M104FF35
, 4M104GG03
, 4M104GG06
, 4M104GG09
, 4M104GG18
, 4M104HH18
, 4M104HH20
引用特許: