特許
J-GLOBAL ID：201803014061436932
樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-100063
公開番号（公開出願番号）：特開2013-256652
特許番号：特許第6261877号
出願日： 2013年05月10日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 式(I)で表される構造単位、
式(II)で表される構造単位、
式(a1-1)で表される構造単位、
式(a2-1)で表される構造単位、
式(a1-2)で表される構造単位及び式(a1-5)で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造単位及び
式(a3-1)で表される構造単位及び式(a3-2)で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造単位からなる樹脂。
[式(I)中、
R1は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
A1は、単結合、*-A2-O-、*-A2-CO-O-、*-A2-CO-O-A3-CO-O-又は*-A2-O-CO-A3-O-を表す。
*は-O-との結合手を表す。
A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。]
[式(II)中、
環T1は置換基を有していてもよい炭素数3〜34のスルトン環を表す。
X1は、酸素原子又は-N(Rc)-(但し、Rcは水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。)を表す。
Z1は、*-X2-、*-X2-X4-CO-X3-又は*-X2-CO-X4-X3-(但し、X2及びX3は、それぞれ独立に炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。X4は酸素原子又は-N(Rc)-を表す。Rcは水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。*はX1との結合手を表す。)で表される基を表す。
R3は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。]
[式(a1-1)中、
La1は、-O-又は*-O-(CH2)k1-CO-O-を表し、k1は1〜7の整数を表し、*は-CO-との結合手を表す。
Ra4は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra6は、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数3〜18の脂環式炭化水素基を表す。
m1は0〜14の整数を表す。]
[式(a2-1)中、
La3は、-O-又は*-O-(CH2)k2-CO-O-を表し、
k2は1〜7の整数を表す。*は-CO-との結合手を表す。
Ra14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra15及びRa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
o1は、0〜10の整数を表す。]
[式(a1-2)及び式(a1-5)中、
La2は、-O-又は*-O-(CH2)k1-CO-O-を表し、k1は1〜7の整数を表し、*は-CO-との結合手を表す。
Ra5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra7は、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数3〜18の脂環式炭化水素基を表す。
R31は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Za1は、単結合又は**-[CH2]k4-CO-La34-基を表す。ここで、k4は1〜4の整数を表す。**は、La31との結合手を表す。
La31、La32、La33及びLa34は、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
n1は0〜10の整数を表す。
n1’は0〜3の整数を表す。
s1は、1〜3の整数を表す。
s1’は、0〜3の整数を表す。]
[式(a3-1)及び式(a3-2)中、
La4及びLa5は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CH2)k3-CO-O-を表す。
k3は1〜7の整数を表す。*は-CO-との結合手を表す。
Ra18及びRa19は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
Ra21は、炭素数1〜4のアルキル基を表す。
p1は0〜5の整数を表す。
Ra22は、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。
q1は、0〜3の整数を表す。p1が2以上のとき、複数のRa21は同一又は相異なり、q1が2以上のとき、複数のRa22は同一又は相異なる。]
IPC (4件)：
C08F 220/28 ( 200 6.01)
, C08F 220/38 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C08F 220/28
, C08F 220/38
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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