特許
J-GLOBAL ID：201803014118002225

基板処理装置

発明者：
矢野 航

矢野 航 について

, 
橋詰 彰夫

橋詰 彰夫 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183919
公開番号（公開出願番号）：特開2018-049909
出願日： 2016年09月21日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：
【課題】洗浄ブラシのブラシ本体のうち基板に当接する基板当接部の大きさの変動を抑制する。【解決手段】基板処理装置は、基板の回転保持機構と、洗浄ブラシを取り付けたシャフトを移動させるブラシ移動機構とを備え、ブラシ本体は、柱状部分の先端面を成す基板当接部を含み、基板処理装置は、矯正部材と、矯正部材を目標位置に相対的に位置決めする相対位置決め機構とをさらに備える。矯正部材が目標位置に位置決めされたときに、矯正部材の接触部は、設計ブラシの設計本体の設計柱状部分の外周面のうち設計当接部と帯状の環状部分とを合わせた対象部分と互いに重なり合い、接触部は、設計ブラシの対象部分の形状を反転させた形状に形成されているとともに、接触部のうち帯状の環状部分に対応する部分は、シャフトの中心軸線に対向する中心軸線対向面である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板処理装置であって、 基板を保持して所定の回転軸を中心に回転させる回転保持機構と、 弾性的に変形可能なブラシ本体を含む洗浄ブラシと、 前記洗浄ブラシを取り付けて前記基板の主面を横切る方向に延在するシャフトを含むとともに、前記シャフトを移動させることによって前記洗浄ブラシを移動させるブラシ移動機構と、 を備え、 前記ブラシ本体は、前記シャフトの延在方向に延在する柱状部分を含むとともに、前記柱状部分の先端面を成して前記基板に当接するための基板当接部を含み、 前記ブラシ移動機構は、前記ブラシ本体の前記基板当接部を前記基板の主面に接触させることができ、 前記洗浄ブラシの設計形状を有して、前記シャフトに所定の態様で取り付けられる仮想の洗浄ブラシによって設計ブラシを定義し、 前記設計ブラシにおける前記ブラシ本体に相当する部分によって設計本体を定義し、 前記設計本体における前記基板当接部に相当する部分によって設計当接部を定義したとき、 前記基板処理装置は、 前記設計ブラシの前記設計本体の外周面に対向して接触可能な接触部を外周面に含む矯正部材と、 前記矯正部材を前記設計ブラシに対して相対的に移動させることによって、前記設計ブラシに対して相対的に規定される目標位置に前記矯正部材を位置決めする相対位置決め機構と、 をさらに備え、 前記矯正部材が前記目標位置に位置決めされたときに、前記接触部は、前記設計本体における前記柱状部分に相当する設計柱状部分の外周面のうち前記設計当接部と、当該外周面のうち前記設計当接部の周縁から前記シャフトの延在方向に延びる帯状の環状部分とを合わせた対象部分と互いに重なり合い、 前記接触部は、前記設計ブラシの前記対象部分の形状を反転させた形状に形成されているとともに、前記接触部のうち前記帯状の環状部分に対応する部分は、前記シャフトの中心軸線に対向する中心軸線対向面である、基板処理装置。
IPC (1件)：
H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/304 644Z ,  H01L21/304 644C
Fターム (9件)：
5F157AB02 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157BA07 ,  5F157BA13 ,  5F157BA31 ,  5F157CC03 ,  5F157DB37
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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