特許
J-GLOBAL ID:201803014913020630
感光性樹脂組成物、感光性フィルム及びレジストパターンの形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 平野 裕之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-082468
公開番号(公開出願番号):特開2018-151644
出願日: 2018年04月23日
公開日(公表日): 2018年09月27日
要約:
【課題】20μmを超える厚さを有する塗膜を形成した場合であっても、解像性及び耐熱性に優れる感光性樹脂組成物およびこのような感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物(絶縁膜)を提供する。【解決手段】(A)成分:フェノール性水酸基を有する樹脂、(B)成分:2つ以上のオキシラン環を有する、脂肪族又は脂環式エポキシ化合物、(C)成分:光感応性酸発生剤、及び(D)成分:溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分100質量部に対して、上記(B)成分20〜70質量部を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)成分:フェノール性水酸基を有する樹脂、
(B)成分:2つ以上のオキシラン環を有する、脂肪族又は脂環式エポキシ化合物、
(C)成分:光感応性酸発生剤、及び
(D)成分:溶剤
を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)成分100質量部に対して、前記(B)成分20〜70質量部を含有する、感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/038
, G03F 7/004
, G03F 7/20
, H05K 1/03
, H05K 3/28
FI (7件):
G03F7/038 503
, G03F7/004 512
, G03F7/20 501
, G03F7/20 521
, H05K1/03 610K
, H05K3/28 D
, H05K3/28 F
Fターム (30件):
2H197CA05
, 2H197CE01
, 2H197HA02
, 2H197HA03
, 2H225AE06P
, 2H225AE12P
, 2H225AF23P
, 2H225AF78P
, 2H225AM79P
, 2H225AM80P
, 2H225AN29P
, 2H225AN31P
, 2H225AN39P
, 2H225BA11P
, 2H225CA12
, 2H225CA13
, 2H225CB06
, 2H225CC01
, 2H225CC12
, 5E314AA27
, 5E314AA31
, 5E314BB05
, 5E314BB12
, 5E314CC06
, 5E314CC15
, 5E314EE02
, 5E314EE03
, 5E314FF05
, 5E314GG08
, 5E314GG17
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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