特許
J-GLOBAL ID：201803015427291653

モールド、インプリント方法、インプリント装置および物品製造方法

発明者：
篠田 健一郎

篠田 健一郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130918
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006553
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】 本発明は、パターン部の外側領域の下方にあるマークやインプリント材等の検出と、インプリント材を硬化させる光の照射範囲制御とを両立させることが可能なモールドを提供することを目的とする。【解決手段】 本発明のモールドは、インプリント装置に用いるモールドであって、パターンが形成されたパターン部と、パターン部を取り囲む周辺部と、を含み、周辺部に、インプリント材を硬化させる硬化光を遮光し且つ被検物を検出するための検出光を透過させる遮光部が設けられていることを特徴とする。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
インプリント装置に用いるモールドであって、 パターンが形成されたパターン部と、 前記パターン部を取り囲む周辺部と、を含み、 前記周辺部に、インプリント材を硬化させる硬化光を遮光し且つ被検物を検出するための検出光を透過させる遮光部が設けられていることを特徴とするモールド。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  B29C 33/38
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  B29C33/38
Fターム (27件)：
4F202AA44 ,  4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AH33 ,  4F202AJ06 ,  4F202AR20 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD05 ,  4F202CD23 ,  4F202CK12 ,  4F202CK90 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AR20 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA32 ,  5F146FA01
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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