基板搬送装置用のキャリア

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-242168
公開番号（公開出願番号）：特開2018-098377
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

【課題】矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持し、搬送する場合に、その板厚が薄い場合でも自重で変形しないように被処理基板を保持できる基板搬送装置用のキャリアを提供する。【解決手段】本発明のキャリアCaは板状の枠体2を有し、枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部4と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部3と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプ5とを備える。クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部57と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部54とを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持する基板搬送装置用のキャリアであって、板状の枠体を有し、この枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプとを備えるものにおいて、クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部とを有することを特徴とする基板搬送装置用のキャリア。

IPC (4件)：

H01L 21/673 , H01L 21/683 , B65G 49/06 , B65D 85/48

FI (4件)：

H01L21/68 U , H01L21/68 N , B65G49/06 Z , B65D85/48

Fターム (29件)：

3E096AA01 , 3E096BA15 , 3E096BA24 , 3E096BB03 , 3E096CA01 , 3E096CB03 , 3E096DB01 , 3E096DC02 , 3E096EA06X , 3E096FA40 , 3E096GA03 , 5F131AA03 , 5F131AA12 , 5F131AA32 , 5F131BA03 , 5F131CA07 , 5F131DA02 , 5F131DA05 , 5F131DA22 , 5F131DA42 , 5F131DA52 , 5F131DC22 , 5F131GA05 , 5F131GA22 , 5F131GA26 , 5F131GA32 , 5F131GA43 , 5F131GA52 , 5F131GA99

引用特許：

審査官引用 (3件)

薄いガラス基板用のキャリアおよびその使用方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2014-531115 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
ガラス基板保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-055684 出願人：日本電気硝子株式会社
基板ホルダー及び基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-233108 出願人：株式会社アルバック

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