特許
J-GLOBAL ID：201803017588436271

研削装置

発明者：
酒井 敏行

酒井 敏行 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-187833
公開番号（公開出願番号）：特開2018-051646
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：
【課題】加工条件を自動調整する研削装置を提供する【解決手段】チャックテーブルと、研削ユニットと、加工送りユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物にかかる荷重またはスピンドルを回転させるスピンドルモータの負荷電流値を測定する測定ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える研削装置であって、該制御ユニットは、基準加工条件記憶部に記憶された該基準の加工条件にて被加工物を研削するよう該加工送りユニットと、該研削ユニットと、該チャックテーブルと、を制御する制御部と、該測定ユニットにより測定される荷重と荷重の該基準値との差、または、測定ユニットにより測定される負荷電流値と負荷電流値の該基準値との差が所定の値より大きい場合に、該差を該所定の値以下とするよう加工送り速度、スピンドルの回転数またはチャックテーブルの回転数を調整する調整部と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持し回転可能なチャックテーブルと、スピンドルの先端に装着された研削ホイールに保持された研削砥石で該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ユニットと、該研削ホイールに保持された該研削砥石と該チャックテーブルとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送りユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物にかかる荷重またはスピンドルを回転させるスピンドルモータの負荷電流値を測定する測定ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、 該制御ユニットは、 基準の加工条件として、基準の加工送り速度と、基準のスピンドルの回転数と、基準のチャックテーブルの回転数と、を記憶する基準加工条件記憶部と、 基準加工条件記憶部に記憶された該基準の加工条件にて被加工物を研削するよう該加工送りユニットと、該研削ユニットと、該チャックテーブルと、を制御する制御部と、 被加工物にかかる荷重の基準値またはスピンドルモータの負荷電流値の基準値を記憶する基準値記憶部と、 研削中に、該測定ユニットにより測定される荷重と荷重の該基準値との差、または測定ユニットにより測定される負荷電流値と負荷電流値の該基準値との差が所定の値より大きい場合に、該差を該所定の値以下とするよう加工送り速度、スピンドルの回転数またはチャックテーブルの回転数を調整する調整部と、を備えることを特徴とする研削装置。
IPC (3件)：
B24B 49/16 ,  B24B 47/20 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
B24B49/16 ,  B24B47/20 ,  H01L21/304 622R ,  H01L21/304 631
Fターム (23件)：
3C034AA08 ,  3C034BB92 ,  3C034CA02 ,  3C034CA16 ,  3C034CB02 ,  3C034CB06 ,  3C034CB07 ,  3C034CB13 ,  3C034DD07 ,  3C034DD10 ,  3C034DD18 ,  5F057AA02 ,  5F057AA31 ,  5F057BA11 ,  5F057BA30 ,  5F057BB09 ,  5F057BB12 ,  5F057BB40 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057GA03 ,  5F057GA16 ,  5F057GB05
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 研磨装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-329913   出願人：株式会社ディスコ
  • 研削方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-276866   出願人：株式会社ディスコ
  • 平面研削装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-203991   出願人：芝山機械株式会社
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