特許
J-GLOBAL ID：201803017618193492
スピンコータ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-258747
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115561
特許番号：特許第6319705号
出願日： 2013年12月14日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】5マイクロメートル以上の段差20を有する基板1にフォトレジスト15を塗布するスピンコータ100であって、基板1全体を一様に加熱する乾燥手段10であり、スピンテーブル2に設置した基板1にフォトレジスト15を滴下し、該スピンテーブル2を回転させて、その回転塗布中に、フォトレジスト15が前記段差20も段切れを発生せずに、段差に沿って一様な厚みで全面カバーしている状態で所望の厚みに達した時間経過後に、乾燥手段10の加熱を開始させるように設定するタイマーと、乾燥手段10の温度調整をする温度調節器と、を少なくとも具備した乾燥手段10を備えたことを特徴とするスピンコータ。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, F26B 11/04 ( 200 6.01)
, G03F 7/16 ( 200 6.01)
H01L 21/30 564 C
, F26B 11/04
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 D
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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