特許
J-GLOBAL ID：201803017647409976
テープ貼着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人東京アルパ特許事務所
, 川村 恭子
, 佐々木 功
, 久保 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-214446
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079781
特許番号：特許第6259630号
出願日： 2013年10月15日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面に凹凸が形成された被加工物の該表面にテープを貼着するテープ貼着方法であって、
被加工物の裏面側を保持テーブルによって吸引保持し、該表面を露出させる保持ステップと、
該保持テーブルにより吸引保持された被加工物の該表面の凸部にテープを貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップを実施した後、該保持テーブルにおいて被加工物の該裏面側を吸引保持した状態のまま、吸引手段で該テープを吸引して凹部に貼着された該テープを該凹部から引き剥がす引き剥がしステップと、を備えたテープ貼着方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/78 M
, H01L 21/78 B
, H01L 21/78 V
