特許
J-GLOBAL ID:201803017724824477
改善された流動安定性を有する流体調整器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人 有古特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-503523
特許番号:特許第6257581号
出願日: 2013年03月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 流体流路によって連結された流体入口および流体出口を有する調整器本体であって、調整器本体の一部が第1のチャンバおよび第2のチャンバを形成する調整器本体と、
第1段開口取り付け部によって形成されて、前記流体流路に配置され第1段シートに導く第1段開口部と、
前記流体流路に配置され第2段シートに導く第2段開口部と、
前記流体流路内に配置され、前記第1段シートから離間した開位置と前記第1段シートに対して着座した閉位置の間で切り替え可能な、前記第1段開口部を通して処理流体の流動を制御するために流体圧力変化に応じるよう構成された第1段制御要素と、
前記流体流路内に配置され、前記第2段シートから離間した開位置と前記第2段シートに対して着座した閉位置の間で切り替え可能な、第2段制御要素と、
前記調整器本体に取り付けられ、前記第2段制御要素に動作可能に連結され、前記第2段開口部を通して前記処理流体の流動を制御するために前記開位置と前記閉位置の間で前記第2段制御要素を移動させて前記流体出口の流体圧力変化に応じるように構成されるアクチュエータと、を備え、
第1段制御要素は第1のダイヤフラムおよび第2のダイヤフラムに動作可能に連結され、前記第1および前記第2のダイヤフラムは前記第1のチャンバおよび前記第2のチャンバの間に配置され、
前記調整器本体に連結されて、前記第1のチャンバの少なくとも一部を形成している入口取り付け部を備え、
前記第1のダイヤフラムは径方向内側部を有し、第1のダイヤフラムの径方向内側部は入口取り付け部と第1段開口取り付け部との間に固定されている、2段式流体調整器。
IPC (2件):
G05D 16/06 ( 200 6.01)
, F16K 17/30 ( 200 6.01)
FI (2件):
G05D 16/06 C
, F16K 17/30 A
引用特許:
出願人引用 (5件)
-
弁装置およびガス減圧調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-130094
出願人:株式会社にっしん
-
ダイヤフラム駆動式バルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-305953
出願人:アイシン精機株式会社
-
流量制御弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-279048
出願人:タカノ株式会社
-
圧力調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-114260
出願人:株式会社東海
-
微量標準ガス用圧力調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-162951
出願人:株式会社堀場製作所
全件表示
審査官引用 (5件)
-
弁装置およびガス減圧調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-130094
出願人:株式会社にっしん
-
ダイヤフラム駆動式バルブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-305953
出願人:アイシン精機株式会社
-
流量制御弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-279048
出願人:タカノ株式会社
-
圧力調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-114260
出願人:株式会社東海
-
微量標準ガス用圧力調整器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-162951
出願人:株式会社堀場製作所
全件表示
前のページに戻る