ウェーハ搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-167475
公開番号（公開出願番号）：特開2018-037475
出願日： 2016年08月30日
公開日（公表日）： 2018年03月08日
要約：

【課題】本発明は、ロボットの動作に起因して巻き上がる可能性のある異物の巻き上がりを抑制するウェーハ搬送装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、ウェーハ(103)を指定の位置に搬送するロボット(102)と、当該ロボットの移動方向を規定する走行軸(202)と、これらを収容する箱状体を備えたウェーハ搬送装置であって、前記箱状体の内部空間であり、前記走行軸の端部より、前記走行の軸の端部に対向する前記箱状体の内壁面側であって、前記ロボットによって搬送されるウェーハの移動軌道より前記箱状体の床面側に、異物吸着部材(201)を配置したウェーハ搬送装置を提案する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウェーハを格納する格納箱からウェーハを取り出し、当該取り出されたウェーハを、ウェーハを指定の位置に搬送するロボットと、当該ロボットの移動方向を規定する走行軸と、前記ロボット及び前記走行軸を空気清浄空間内に収容する箱状体を備えたウェーハ搬送装置において、前記箱状体の内部空間であり、前記走行軸の端部より、前記走行の軸の端部に対向する前記箱状体の内壁面側であって、前記ロボットによって搬送されるウェーハの移動軌道より前記箱状体の床面側に、異物吸着部材を配置したことを特徴とするウェーハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L21/68 A , B65G49/07 C

Fターム (19件)：

5F131AA02 , 5F131CA09 , 5F131CA12 , 5F131CA15 , 5F131DA32 , 5F131DA36 , 5F131DB02 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131GA12 , 5F131JA08 , 5F131JA13 , 5F131JA24 , 5F131JA25 , 5F131JA27 , 5F131JA28 , 5F131JA32

引用特許：

審査官引用 (7件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-137666 出願人：株式会社東芝
ミニエンシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-268937 出願人：株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス
特開昭64-022042

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