特許
J-GLOBAL ID：201803018096628511
質量分析装置及び質量分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 峰 隆司
, 河野 直樹
, 鵜飼 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-094046
公開番号（公開出願番号）：特開2018-190655
出願日： 2017年05月10日
公開日（公表日）： 2018年11月29日
要約：
【課題】高感度の分析が可能な質量分析装置及び質量分析方法を提供する。【解決手段】実施形態にかかる質量分析装置は、試料台と、分析部と、イオンビーム源と、アシストエネルギー源と、レーザ光源と、を備える。前記試料台は、試料を保持可能に設けられる。前記分析部は、前記試料台の試料載置面に対向配置され、質量分析をする。前記イオンビーム源は、前記試料載置面に向けてイオンビームを照射可能に設けられる。前記アシストエネルギー源は、前記試料載置面と前記分析部の間の対象領域にアシストエネルギーを供給する。前記レーザ光源は、前記対象領域にレーザ光を照射する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を保持可能に設けられた試料台と、
前記試料台の試料載置面に対向配置され、質量分析をする分析部と、
前記試料載置面に向けてイオンビームを照射可能に設けられたイオンビーム源と、
前記試料載置面と前記分析部の間の対象領域にアシストエネルギーを供給するアシストエネルギー源と、
前記対象領域にレーザ光を照射するレーザ光源と、
を備える質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/10
, H01J 27/24
, G01N 27/62
, G01N 27/64
H01J49/10
, H01J27/24
, G01N27/62 G
, G01N27/64 B
2G041CA01
, 2G041DA03
, 2G041DA16
, 2G041DA19
, 5C030DD08
, 5C038GG07
, 5C038GH10
