特許
J-GLOBAL ID：201803018434421006
複合部材の製造方法及び静電チャックの製造方法並びに接着部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-206974
公開番号（公開出願番号）：特開2018-067682
出願日： 2016年10月21日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：
【課題】例えばセラミック部材と金属部材とを接着シートのような接着部材を用いて接合する場合に、好適に接合作業を行うことができる複合部材の製造方法及び静電チャックの製造方法並びに接着部材を提供すること。【解決手段】カバーフィルム25及びベースフィルム27は、水により溶ける性質を有するものであり、接着剤層23は、水に溶液には溶けない(又は水に溶けにくい)性質を有するものである。従って、セラミック側部材31を作製する場合には、真空吸着ステージ29に保持された接着シート21のカバーフィルム25を、水によって溶かして除去することによって、第1接着剤層23aの第1主面A1を露出させることができる。更に、第1接着剤層23aのベースフィルム27を、水によって溶かして除去することによって、第2主面A2を露出させることができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
接着剤層と、該接着剤層の第1主面を覆うように貼り付けられた第1カバー層と、前記接着剤層の第2主面を覆うように貼り付けられた第2カバー層と、を備えた接着部材を用いて、複合部材を製造する複合部材の製造方法において、
前記第1カバー層及び前記第2カバー層のうち、少なくとも前記第1カバー層は、溶液により溶ける性質を有するものであり、且つ、前記接着剤層は、前記溶液には溶けない又は前記第1カバー層より溶けにくい性質を有するものであり、
前記接着部材の前記第1カバー層を前記溶液によって溶かして除去して、前記接着剤層の前記第1主面を露出させる工程と、
前記接着剤層の露出した前記第1主面に、所定部材を接着する工程と、
を有することを特徴とする複合部材の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, H02N 13/00
, C04B 37/02
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
, C04B37/02 A
4G026BA01
, 4G026BA03
, 4G026BB21
, 4G026BF38
, 4G026BH07
, 5F131AA02
, 5F131BA19
, 5F131CA47
, 5F131CA68
, 5F131EB22
, 5F131EB72
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB81
, 5F131EB82
, 5F131EB84
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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