特許

J-GLOBAL ID：200903000644013842

静電チャック装置用接着シート及び静電チャック装置

発明者： 島 武志 ,  松永 忠生 ,  堀池 光昭 ,  山本 敏之
出願人/特許権者： 株式会社巴川製紙所
代理人 (1件)： 渡部 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149553
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083862
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】 高度な耐熱性を有する静電チャック装置用接着シート、およびそれを用いて作製された、熱履歴を受けた後でもセラミック基板の反りが極めて少なく、耐熱性に優れ、更に吸着力に優れた静電チャック装置を提供する。【解決手段】 接着シートは、シリコーン樹脂弾性層11およびその両面に積層されたエポキシ樹脂またはフェノール樹脂を含有する熱硬化性接着剤層12,13よりなり、金属基盤上に、その接着シートを介して電極層および吸着面を有するセラミック層が順次積層されて静電チャック装置が作製される。

請求項（抜粋）：

吸着面がセラミックよりなる静電チャック装置の作製に用いるための接着シートであって、該接着シートがシリコーン樹脂弾性層およびその両面に積層されたエポキシ樹脂またはフェノール樹脂を含有する熱硬化性接着剤層よりなることを特徴とする静電チャック装置用接着シート。

IPC (11件)：

H01L 21/68 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/00 101 ,  C08G 73/10 ,  C09J 7/02 ,  C09J161/06 ,  C09J163/00 ,  C09J179/08 ,  C09J183/10 ,  C09J201/00 ,  B23Q 3/15

FI (11件)：

H01L 21/68 R ,  B32B 27/00 M ,  B32B 27/00 101 ,  C08G 73/10 ,  C09J 7/02 Z ,  C09J161/06 ,  C09J163/00 ,  C09J179/08 Z ,  C09J183/10 ,  C09J201/00 ,  B23Q 3/15 D

Fターム (85件)：

3C016GA10 ,  4F100AK27A ,  4F100AK27C ,  4F100AK27J ,  4F100AK29A ,  4F100AK29C ,  4F100AK29J ,  4F100AK33A ,  4F100AK33C ,  4F100AK41A ,  4F100AK41C ,  4F100AK46A ,  4F100AK46C ,  4F100AK49A ,  4F100AK49C ,  4F100AK49K ,  4F100AK52B ,  4F100AK53A ,  4F100AK53C ,  4F100AL01A ,  4F100AL01C ,  4F100AL05A ,  4F100AL05C ,  4F100BA03 ,  4F100BA06 ,  4F100BA15 ,  4F100CA23B ,  4F100GB41 ,  4F100JA20 ,  4F100JB13A ,  4F100JB13C ,  4F100JJ03 ,  4F100JK06 ,  4F100JK07B ,  4F100JL11A ,  4F100JL11C ,  4J004AA05 ,  4J004AA11 ,  4J004AA12 ,  4J004AA13 ,  4J004AA15 ,  4J004AA16 ,  4J004CA05 ,  4J004CC02 ,  4J004EA05 ,  4J004FA08 ,  4J040CA072 ,  4J040EB031 ,  4J040EC001 ,  4J040ED002 ,  4J040EG002 ,  4J040EH032 ,  4J040EK112 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040LA08 ,  4J040MA04 ,  4J040MB05 ,  4J040NA20 ,  4J043PA01 ,  4J043PA05 ,  4J043PA08 ,  4J043QB33 ,  4J043QB50 ,  4J043RA35 ,  4J043RA37 ,  4J043SA06 ,  4J043SA85 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA121 ,  4J043UA132 ,  4J043UB012 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB302 ,  4J043WA09 ,  4J043XA04 ,  4J043ZB47 ,  5F031HA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA17 ,  5F031MA32 ,  5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-062325   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チャック装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-180335   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 電子部品用接着剤および電子部品用接着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-229199   出願人：株式会社巴川製紙所
• 特開平4-287344
  
• 薄膜太陽電池の製造方法,及び薄膜太陽電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-053782   出願人：三菱電機株式会社
• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-215994   出願人：株式会社巴川製紙所
• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-283126   出願人：株式会社巴川製紙所, 株式会社東芝