特許
J-GLOBAL ID：200903093570155796
静電チャック装置用接着シート、および静電チャック装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-237684
公開番号（公開出願番号）：特開2009-071023
出願日： 2007年09月13日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】ウエハの加熱斑の原因となるチャック面のセラミック板の反り発生を防止し、接着剤層のプラズマ侵食を解消できる静電チャック装置用接着シート、ならびに該接着シートを備え、ウエハの加熱斑を防止できる静電チャック装置を提供する。【解決手段】本発明の静電チャック装置用接着シート10は、アクリルゴムを含む応力緩和層12と、応力緩和層の両面に設けられたアクリルゴムと熱硬化性樹脂を含む第1接着剤層14と、第2接着剤層16と、を有することよりなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アクリルゴムを含む応力緩和層と、応力緩和層の両面に設けられ、アクリルゴムと熱硬化性樹脂を含む接着剤層と、を有する静電チャック装置用接着シート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA16
, 5F031MA27
, 5F031MA32
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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