特許
J-GLOBAL ID：201803018434470457
封止装置および封止方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-214770
公開番号（公開出願番号）：特開2015-079587
特許番号：特許第6267920号
出願日： 2013年10月15日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空チャンバー内で機能材料薄膜層を備えた三次元形状の成形基板の表面を封止する封止装置であり、
前記真空チャンバー内には前記成形基板を載置するための治具を固定したステージを備えるとともに、前記真空チャンバーの上面の開口部を覆う状態で配置される封止基板を保持する弾性シートを備えた保持ユニットおよび弾性ダイヤフラムを備えた封止ユニットを真空チャンバー上に上下動可能に配置してなることを特徴とする封止装置。
IPC (4件)：
H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H01L 51/44 ( 200 6.01)
H05B 33/04
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, H01L 31/04 135
