走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-188803
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054385
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
要約：

【課題】連続撮影モードにおいて、従来よりも短い測定時間で画像化を繰り返すことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡10は、プローブ11と、XYスキャナ12と、Zスキャナ13と、XYスキャナ12及びZスキャナ13を制御することによって試料22の表面における立体形状を画像化する制御部19とを備える。制御部19は、画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のためのプローブ11の走査及びプローブ11のZ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従ってXYスキャナ12及びZスキャナ13を制御することで次の画像化を行うことを繰り返す。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プローブと、試料に対して相対的に前記プローブを2次元的に走査するXYスキャナと、前記XYスキャナによる走査面と直交するZ軸方向に前記プローブを駆動するZスキャナと、前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することによって前記試料の表面における立体形状を画像化する制御部とを備え、前記制御部は、前記画像化を繰り返す連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて、次の画像化のための前記プローブの走査及び前記プローブのZ軸方向の駆動の少なくとも一方に関する走査条件を決定し、決定した走査条件に従って前記XYスキャナ及び前記Zスキャナを制御することで次の画像化を行うことを繰り返す走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01Q 10/04 , G01Q 60/44

FI (2件)：

G01Q10/04 , G01Q60/44

引用特許：

審査官引用 (4件)

探針走査制御方法および走査形プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-033140 出願人：日本電子株式会社
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-544789 出願人：インペリアルイノベーションズリミテッド
走査プローブ顕微鏡の探針位置固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-085770 出願人：東北大学長

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