特許
J-GLOBAL ID：201803018946152180
プラズマを同軸照射装置により生成する基本装置及びそれを備える設備
ラデゥー マリレーナ
ラデゥー マリレーナ について
出願人/特許権者：
サイレム・ソシエテ・プール・ラプリカション・アンデュストリエール・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・アン・エレクトロニック・エ・ミクロ・オンデ
サイレム・ソシエテ・プール・ラプリカション・アンデュストリエール・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・アン・エレクトロニック・エ・ミクロ・オンデ について
代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-517595
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530128
出願日： 2016年10月04日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：
本発明はプラズマを生成するためのマイクロ波動力の基本装置(1)であって、基本装置(1)は同軸照射装置(2)を備え、同軸照射装置(2)は、導電性の中央コア(23)と、中央コアを囲む導電性外部シールド(24)と、中央コア(23)とシールド(24)との間に位置し、マイクロ波エネルギーを伝搬するための媒体(25)と、シールド上に配置され、マイクロ波発生装置と接続するための機構(3)と、を有し、シールドは、マイクロ波エネルギーを透過させる誘電体からなりかつチャンバー(4)内に局在する気体と接触するように設けられた外表面(27)を有する絶縁体(26)により基端が閉塞され、絶縁体は、シールドから外側に突出しており、外表面は非平面であり、シールドから外側に突出しており、誘電体の外径は、シールドから外表面の先端まで減少している。本発明はプラズマを発生するための装置の分野に適用され得る。
請求項（抜粋）：
プラズマを生成するための基本装置(1)であって、マイクロ波出力の同軸照射装置(2)を備え、
前記同軸照射装置(2)は、
主軸APに沿って延出する導電性の中央コア(23)と、
前記中央コア(23)を囲む導電性のアウターシールド(24)と、
前記中央コア(23)と前記アウターシールド(24)との間に存在するマイクロ波エネルギーを伝搬するための媒体(25)と、
マイクロ波エネルギー発生装置と接続するために、前記アウターシールド(24)に配置された接続機構(3)と、を有し、
前記アウターシールド(24)は、チャンバー(4)内で活性化した状態で存在する気体と接触するように設けられた外表面(27)を有し、マイクロ波エネルギーを通過させる誘電材料からなる絶縁体(26)、により閉鎖された基端を有し、
前記外表面(27)は、前記主軸(AP)を中心に回転対称であり、
前記絶縁体(26)は、前記主軸(AP)に沿って前記アウターシールド(24)から外側に突出しており、
前記基本装置(1)において、前記外表面(27)は、非平面であり、外径が前記主軸(AP)に沿って前記アウターシールド(24)から該外表面(27)の先端までで減少し、前記アウターシールド(24)から外側に突出している
ことを特徴とする基本装置(1)。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2G084CC14
, 2G084CC33
, 2G084DD18
, 2G084DD25
, 2G084DD42
, 2G084DD44
, 2G084DD62
, 2G084FF21
, 2G084FF22
, 2G084FF39
引用特許：
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