特許

J-GLOBAL ID：201803020624273261

コレクター

発明者： ゼンガー インゴ ,  ツィマーマン ヨルク ,  クレーマー ダニエル ,  ルオフ ヨハネス ,  マイアー マルティン ,  シュレゼナー フランク ,  ヘンナーケス クリシュトフ ,  ジンガー ヴォルフガング
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (8件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  大浦 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-535025
特許番号：特許第6221159号
出願日： 2012年10月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 マイクロリソグラフィのための投影露光装置(1)のためのコレクター(15)であって、 a.i.複数の反射区画(24)と、 ii.第1のフォーカス(26)と、 iii.第2のフォーカス(27)と、 を有する少なくとも1つのコレクターシェル(23)、 を含み、 b.前記複数の反射区画(24)は、各々、 i.放射線(14)を前記第1のフォーカス(26)から前記第2のフォーカス(27)に反射することができ、 ii.全ての反射区画(24)上への入射角(f)の角度スペクトルが、所定の入射角(f*)の付近に最大で10°の角度範囲を含む、 ように具現化され、 c.前記少なくとも1つのコレクターシェル(23)は、前記第1のフォーカス(26)に配置された放射線源(3)から射出した放射線(14)が、所定の入射角(f*)付近の最大で10°の角度スペクトル内の入射角(f)で反射区画(24)の各々の上に入射するように具現化された複数の反射区画(24)を有し、該所定の入射角(f*)は、全ての反射区画(24)に対して同一である、 ことを特徴とするコレクター(15)。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 19/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/20 503 ,  G02B 19/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 放射線コレクタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-512186   出願人：サジェムデファンスセキュリテ
• マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2012-531343   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
• 反射光学系、照明光学装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-203876   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-363698
  

審査官引用 (4件)

• 放射線コレクタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2011-512186   出願人：サジェムデファンスセキュリテ
• マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2012-531343   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
• 反射光学系、照明光学装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-203876   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-363698