特許
J-GLOBAL ID:201803020958806759
媒体上に金属パターンを堆積する方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
池田 成人
, 清水 義憲
, 酒巻 順一郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-543473
特許番号:特許第6315351号
出願日: 2013年11月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 媒体上に金属パターンを堆積する方法であって、
i)パルスレーザ源から、前記媒体が実質的に透明な波長を有するパルスレーザビームを発生させる工程であり、前記媒体が50%未満の、前記パルスレーザビームに対する吸収率と反射率の合計を有する、工程、
ii)熱可塑性ポリマーおよび熱硬化性ポリマーの少なくとも一種を含む有機マトリックス中に分散した無機粒子を含むターゲット層上にレーザビームを集束させ、前記レーザビームと前記ターゲット層との相互作用により前記ターゲット層に噴出物を生成させる工程、
iii)前記媒体上の所望のパターン内に前記噴出物の少なくとも一部を堆積させる工程、
iv)無電解金属めっきにより前記パターンを形成する工程
を含む方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許: