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J-GLOBAL ID：201902210527389785   整理番号：19A0930711

EB蒸着により作製したフッ素系樹脂薄膜の評価

Evaluation of Fluorocarbon Polymer Thin Film Prepared by EB Vapor Deposition

著者 (4件)： 上村彰宏 (石川県工試) ,  嶋田一裕 (石川県工試) ,  宗本隆志 (石川県工試) ,  沢野井康成 (石川県工試)
資料名： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
巻： 56  号： 2  ページ： 67-70  発行年： 2019年04月20日 
JST資料番号： G0788A  ISSN： 1347-4774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子ビーム(EB)蒸着法を用いてガラス基板上にフルオロカーボン高分子膜を蒸着した。膜を水接触角の観点から評価し,走査電子顕微鏡,Fourier変換赤外分光法,X線光電子分光法および紫外可視分光法により調べた。EB蒸着を用いて調製したフルオロカーボン膜はポリテトラフルオロエチレン(PTFE)膜よりも大きな水接触角を有していた。膜は主にCF₂結合で構成されていた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電子ビーム蒸着 ,  *高分子薄膜 ,  接触角 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  *フッ素樹脂 ,  ポリテトラフルオロエチレン
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  水接触角

分類 (1件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L)

引用文献 (26件)：

• R. Harrop and P. J. Harrop : Thin Solid Films, 3, 109 (1969)
• H. Biederman, S. M. Ojha and L. Holland : Thin Solid Films, 41, 329 (1977)
• Y. Zhang, G. H. Yang, E. T. Kang and K. G. Neoh : Langmuir, 18, 6373 (2002)
• H. Biederman, M. Zeuner, J. Zalman, P. Bílková, D. Slavínská, V. Stelmasuk and A. Boldyreva : Thin Solid Films, 392, 208 (2001)
• V. Stelmashuk, H. Biederman, D. Slavínská, J. Zemek and M. Trchová : Vacuum, 77, 131 (2005)

タイトルに関連する用語 (6件)： EB ,  蒸着 ,  作製 ,  フッ素系樹脂 ,  薄膜 ,  評価