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J-GLOBAL ID：201902212008020590   整理番号：19A0011941

炭化タングステン中間層を用いた水素フリーDLC膜の密着性の改善【JST・京大機械翻訳】

Improvement of adhesion of hydrogen-free DLC film by employing an interlayer of tungsten carbide

著者 (11件)： Isono Ryo (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Tanimoto Tsuyoshi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Iijima Yushi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Kusumawan Sholihatta Aziz (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Harigai Toru (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Suda Yoshiyuki (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Takikawa Hirofumi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, 441-8580, Japan) ,  Kamiya Masao (Itoh Optical Industrial Co., Ltd., 3-19, Miyanari, Gamagori, 443-0041, Japan) ,  Kaneko Satoru (Kanagawa Institute of Industrial Science and Technology, 705-1, Shimoimaizumi, Ebina, 243-0435, Japan) ,  Kunitsugu Shinsuke (Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, 5301, Haga, Kitaku, Okayama, 701-1296, Japan) ,  Taki Makoto (Onward Ceramic Coating Co., Ltd., 13, Yoshiwara, Nomi, 929-0111, Japan)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1929  号： 1  ページ： 020019-020019-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 密着性の低い材料はダイヤモンド状炭素(DLC)膜の応用に対する問題を示す。この問題を解決する方法として,DLC膜と基板の間に金属の中間層を堆積する技術がある。炭化タングステン膜(W-C膜)を中間層として用いた。本研究では,DLC膜の接着に及ぼすW-C中間層の導入の影響を調べた。W-C膜は,カソードとして2種類の超硬合金(WC),Co(WC-Co)を含むもの,およびカソード形状を形成するためのバインダーとしてTi(WC-Ti)を含むものを用いて堆積した。DLC膜に中間層を導入するためには,中間層の膜厚を制御する必要がある。W-C膜の膜厚制御は放電計数器を用いることにより可能となった。DLC膜を-100Vのバイアス電圧を用いて蒸着した。接着を調べる時のW-C中間層とDLC膜の膜厚はそれぞれ30nmと300nmであった。テープ剥離試験の結果は,DLC膜の接着がW-C中間層を採用することにより改善されることを示した。さらに,中間層上の酸化物層を除去することにより,接着はさらに改善された。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *密着性 ,  形態 ,  酸化層 ,  接着 ,  基板 ,  剥離試験 ,  カソード ,  膜厚 ,  超硬合金 ,  *炭化タングステン ,  粘結剤 ,  放電
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  *中間層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭化タングステン ,  中間層 ,  水素 ,  DLC膜 ,  密着性