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J-GLOBAL ID：201902223038765218   整理番号：19A2291162

局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス

A Device for Localized Measurement of Small Particles with Electrode-Integrated Small Pores

著者 (9件)： 竹城雄大 (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  宇佐美尚人 (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  岡本有貴 (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻) ,  高田武晃 ((株)アドバンテスト) ,  肥後昭男 (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  池野理門 (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  鷲津信栄 ((株)アドバンテスト) ,  浅田邦博 (東京大学 大規模集積システム設計教育研究センター) ,  三田吉郎 (東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 139  号： 8  ページ： 271-276(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,個々の電極と共に局所的に集積化した複数の微小孔を有するデバイスを提案する。その応用はコールター法を用いた粒子測定であり,各孔上に集積化局所電極を用いている。コールター粒子カウンターは高分解能測定を達成できるが,この方法は測定可能な粒子サイズの低減において感度とスループットとのトレードオフ問題が存在する。このシステムは,孔周辺の電流を局所的に観測でき,これにより高感度を保ちながら並列測定が可能になる。ここで作製した孔サイズは400nm,1.0μm,1.5μmであった。自然水流を1.5μm装置で達成し,コールター原理に起因する電流ディップを観測した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *細孔 ,  *RIE【エッチング】 ,  計測器 ,  *微粒子 ,  高感度 ,  細孔径 ,  イオン電流 ,  電気抵抗 ,  リード線 ,  金属線 ,  精度 ,  スループット ,  細菌 ,  小胞 ,  タンパク質複合体
準シソーラス用語： *微小孔 ,  DRIE【エッチング】 ,  異方性エッチング ,  *Coulterカウンタ ,  微粒子計数器 ,  ボンディングワイヤ ,  エキソソーム

著者キーワード (8件)： - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  - ,  -

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• (1) G. S. Roberts, S. Yu, Q. Zeng, L. C. L. Chan, W. Anderson, A. H. Colby, M. W. Grinstaff, S. Reid, and R. Vogel : “Tunable pores for measuring concentrations of synthetic and biological nanoparticle dispersions”, Biosensors and Bioelectronics, Vol. 31, No. 1, pp. 17-25 (2012)
• (2) W. H. Coulter, US Patent 2,656,508 (1953)
• (3) L. Yang, M. F. Broom, and I. G. Tucker : “Characterization of a nanoparticulate drug delivery system using scanning ion occlusion sensing”, Pharmaceutical Research, Vol. 29, No. 9, pp. 2578-2586 (2012)
• (4) W. Anderson, D. Kozak, V. A. Coleman, Ǻ. K. Jämting, and M. Trau : “A comparative study of submicron particle sizing platforms: Accuracy, precision and resolution analysis of polydisperse particle size distributions”, Journal of Colloid and Interface Science, Vol. 405, pp. 322-330 (2013)
• (5) K. V. Agrawal, L. W. Drahushuk, and M. S. Strano : “Observation and analysis of the Coulter effect through carbon nanotube and graphene nanopores”, Phil. Trans. R. Soc. A, Vol. 374, p. 20150357 (2016)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小粒子 ,  計測 ,  集積 ,  微小孔