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J-GLOBAL ID：201902224937630866   整理番号：19A2265257

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第7報)-PCVM加工における熱流入由来の加工量誤差の補正-

著者 (9件)： 荒川翔平 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山本有悟 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O14  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたNC-PCVMによる,中性子顕微鏡用Wolterミラーの作製に取り組んでいる.PCVMは化学的な加工法であるため,加工速度は表面温度に依存する.マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため,プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく,加工速度の上昇分を照射時間で補正する必要がある.本報ではプラズマの照射時間補正後にマンドレルを形状修正した結果を報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： マンドレル ,  中性子ビーム ,  顕微鏡 ,  *鏡 ,  石英 ,  プラズマ曝露 ,  *超精密加工 ,  *プラズマCVM
準シソーラス用語： プラズマ照射 ,  *ミラー ,  中性子線

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (1件)：

• D. Liu, et al., Na t. Commun. 4 (2013) 2556.

タイトルに関連する用語 (8件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  流入 ,  加工量 ,  誤差