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J-GLOBAL ID：201902242293473469   整理番号：19A0011946

導電性ハードコーティングのための水素フリーDLCと窒素含有DLCからなる多層膜の作製【JST・京大機械翻訳】

Preparation of multi-layer film consisting of hydrogen-free DLC and nitrogen-containing DLC for conductive hard coating

著者 (12件)： Iijima Yushi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Harigai Toru (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Isono Ryo (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Degai Satoshi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Tanimoto Tsuyoshi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Suda Yoshiyuki (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Takikawa Hirofumi (Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi 441-8580, Japan) ,  Yasui Haruyuki (Industrial Research Institute of Ishikawa, 2-1 Shunsuki, Kanazawa 920-8203, Japan) ,  Kaneko Satoru (Kanagawa Institute of Industrial Science and Technology, 705-1 Shimoimaizumi, Ebina 243-0435, Japan) ,  Kunitsugu Shinsuke (Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, 5301 Haga, Okayama 701-1296, Japan) ,  Kamiya Masao (Itoh Optical Industrial Co., Ltd., 3-19 Miyanarityo, Gamagori 443-0041, Japan) ,  Taki Makoto (Onward Ceramic Coating Co., Ltd., wa-13 Yoshiwaratyo, Nomi 929-0111, Japan)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1929  号： 1  ページ： 020024-020024-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 導電性ハードコーティング膜は集積回路チップの電気検査プロセスで使用される接触ピン用の保護膜として応用可能性がある。本研究では,多層ダイヤモンド状炭素(DLC)膜を導電性硬質皮膜として調製した。DLCと窒素含有DLC(N-DLC)膜から成る多層DLC膜を,T字形フィルタリングアーク蒸着法を用いて調製した。周期的DLC/N-DLC4層と8層膜は各層の厚さを変えることにより同じ膜厚を有した。ボールオンディスク試験において,N-DLC単層膜は最高の耐摩耗性を示した。しかし,球状研磨法では,8層膜が最も高い研磨抵抗を示した。層の厚さを減少させることにより,多層DLC膜の相手材料に対する摩耗と研磨抵抗と攻撃性が改善された。多層膜において,硬質DLC層間の軟磁性N-DLC層は緩衝材として機能すると信じられている。このように,DLC膜のトライボロジー特性は多層構造により改善された。多層DLC膜の電気抵抗率はDLC単層膜の約半分であった。したがって,周期的なDLC/N-DLC8層膜は良好な導電性硬質皮膜である。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多層構造 ,  *窒素 ,  *多層膜 ,  *多層 ,  研磨 ,  皮膜 ,  耐摩耗性 ,  緩衝材 ,  膜厚 ,  DLC膜 ,  保護膜 ,  *導電性 ,  硬質 ,  *被覆 ,  硬質皮膜 ,  機械工作 ,  機械的性質 ,  耐性

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 導電性 ,  コーティング ,  水素 ,  DLC ,  窒素 ,  多層膜 ,  作製