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J-GLOBAL ID：201902250766590259   整理番号：19A0772586

ラマン分光法によるダイヤモンドライクカーボンの化学構造解析

Chemical structure analysis of diamond-like carbon by Raman spectroscopy

著者 (2件)： 鷹林将 (株式会社アドテックプラズマテクノロジー) ,  高桑雄二 (東北大学多元物質科学研究所)
資料名： 炭素
巻： 2019  号： 286  ページ： 14-25(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： G0633A  ISSN： 0371-5345  CODEN： TASOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の化学構造をラマン分光法で分析した。試料は光電子放出補助タウンゼント放電(PatD)により合成したDLC膜であった。基本的な分子構造の群論は,Ramanスペクトルが特定の振動モードを有する5つのバンドから成ることを示唆した。そして,線形は修正Voigt型公式によって表された。バンドの面積と位置の解析は,sp2クラスタモデルをもつDLC膜の化学構造を示した。このモデルはsp2炭素,sp3炭素および水素の非共役および誘電マトリックス中に浮遊するsp2炭素(sp2クラスタ)の共役および導電性クラスタから成る。sp2クラスタは低濃度のメタン中で形成されたDLC膜に対してむしろ脂肪族であった。クラスタはメタン濃度の増加と共に芳香族になるように成長した。欠陥またはダングリングボンドの数は同様に増加したが,高いメタン濃度で形成された膜では水素により終端された。DLCの本質的構造は,sp2クラスタモデルによって表されるランダム共役の発展の結果である。DLCは蒸着過程で時間と共に共役がゆっくりと増加し,誘電特性を示す炭素質材料であると考えた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： Raman分光法 ,  *DLC膜 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *分子構造 ,  誘電性 ,  共役 ,  Ramanスペクトル
準シソーラス用語： 化学構造

著者キーワード (8件)： ダイヤモンド状炭素(DLC) ,  光電子放出支援Townsend放電(PATD) ,  Raman分光法 ,  SP2クラスタ模型 ,  ダイヤモンド状炭素(DLC) ,  光電子放出支援Townsend放電(PATD) ,  Raman分光法 ,  SP2クラスタ模型

分類 (2件)： 非金属化合物  (CD01070R) ,  分子構造と性質の実験的研究  (CB01020I)

引用文献 (61件)：

• 1) S. Aisenberg and R. Chabot, J. Appl. Phys. 42 (1971) 2953-2958.
• 2) J. Robertson, Mater. Sci. Eng. Rep. 37 (2002) 129-281.
• 3) 神田一浩,応用物理,86 (2017) 558-564.
• 4) International Organization for Standrdization (ISO)下のISO/TC 107にて審議中。
• 5) S. Takabayashi and T. Takahagi, J. Surf. Anal. 20 (2013) 25-54 [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (4件)： ラマン分光法 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  化学 ,  構造解析