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J-GLOBAL ID：201902273673632436   整理番号：19A2264958

非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング-偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-

著者 (6件)： 清水裕樹 (東北大) ,  真野和樹 (東北大) ,  松永雅教 (東北大) ,  村上佑記 (東北大) ,  松隈啓 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D35  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サーフェスエンコーダのスケールとして用いられる2軸回折格子作成に向け,非直交型2軸ロイドミラー干渉計が提案されている.100mm四方の大面積スケール一括露光の実現可能性が示されている一方で,2軸パターンの高精度化が望まれている.本報では,より高精度な偏光制御を実現する干渉計光学系のビーム拡大機構を新たに設計・試作し,その有効性を理論解析および実験により明らかにした結果について報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： *干渉計 ,  *回折格子 ,  *パターン形成 ,  位置決め ,  フィードバック ,  拡大 ,  ビーム
準シソーラス用語： *ビーム拡大 ,  *高精度化 ,  *偏光制御 ,  有効性確認 ,  理論解析

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (4件)：

• W. Gao et al., Annals of the CIRP, 64, 2 (2015) 773-796.
• X. Li, W. Gao et al., Annals of the CIRP, 63, 1 (2014) 461-464.
• Y. Shimizu, R. Aihara, K. Mano et al., Precis. Eng., 54 (2018) 284-293.
• Y. Shimizu et al., Opt. Eng., 58, 9 (2019) 092611 (12pp).

タイトルに関連する用語 (7件)： 2軸 ,  干渉計 ,  スケール ,  回折格子 ,  パターニング ,  偏光制御 ,  高精度化