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J-GLOBAL ID：201902278773476751   整理番号：19A1063613

純水中のSiO_2ガラスの触媒化学研磨【JST・京大機械翻訳】

Catalyzed chemical polishing of SiO₂ glasses in pure water

著者 (8件)： Toh Daisetsu (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Bui Pho Van (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Isohashi Ai (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Kidani Naotaka (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Matsuyama Satoshi (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Sano Yasuhisa (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Morikawa Yoshitada (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Yamauchi Kazuto (Graduate School of Engineering, Department of Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 90  号： 4  ページ： 045115-045115-7  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線ミラーや極端紫外マスクブランクのような光学部品の超精密製作のために,触媒支援エッチングシステムを開発した。本研究は,サブオングストローム二乗平均粗さを有する原子的に滑らかな表面が,エッチング溶液および触媒としてそれぞれ純水およびPtを用いてSiO_2ガラス基板上に達成できることを実証した。密度汎関数理論計算により,機構的経路が触媒加水分解に関与することを確認した。触媒の重要な役割は,水分子の解離と準安定状態の安定化であることが明らかになり,そこでは超原子価ケイ酸塩状態が誘起され,Si-Oバックボンドが伸長し緩和された。触媒の役割を確認するために,Pt金属をAuで置換し,除去速度の観察された劇的な違いは準安定状態の安定化の程度に起因した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ガラス ,  白金 ,  エッチング ,  加水分解 ,  *純水 ,  極端紫外線 ,  エッチング液 ,  準安定状態 ,  水分子 ,  *化学研磨 ,  金 ,  ケイ酸塩 ,  *触媒
準シソーラス用語： 超原子価 ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 有害ガス処理法  (SC04030H) ,  燃料電池  (YB04040V) ,  その他の非晶質の構造  (BK04040Z) ,  固体レーザ  (BD04080W) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水中 ,  ガラス ,  触媒化学 ,  研磨